美國(guó)Micro-VU Vertex系列測(cè)量?jī)x
技術(shù)參數(shù)
| 型號(hào) |
Vertex251HM/HC |
Vertex251UM/UC |
Vertex311HM/HC |
Vertex311UM/UC |
| XY 精度 |
Uxy=2.0+L/200 |
Uxy=1.8+L/200 |
Uxy=2.6+L/200 |
Uxy=2.0+L/200 |
| Z 精度 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
Uz=2.0+L/150 |
| XY 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
1.8μm |
2.6μm |
2.0μm |
| Z 重現(xiàn)性 |
2.0μm |
2.0μm |
2.0μm |
2.0μm |
| XY 加速度 |
500mm/S2 |
| Z 加速度 |
200mm/S2 |
| XY 移動(dòng)速度 |
250mm/s |
| Z 移動(dòng)速度 |
100mm/s |
| 光學(xué)尺分辨率 |
0.1μm |
| 量測(cè)行程 |
250x160x160mm |
315x315x160mm |
| 外形尺寸 |
606x800x775mm |
720x1085x1030mm |
| 重量 |
120kg |
150kg |
| 承載重量 |
10kg |
12kg |
| 基座材質(zhì) |
鋁合金 |
| 傳動(dòng)方式 |
Unique Monorail X & Y Design, Monorail Linear Z |
| 電控系統(tǒng) |
伺服系統(tǒng): CNC, 鼠標(biāo),搖桿 |
| 光學(xué)系統(tǒng)&放大倍率 |
6.5:1光學(xué)Zoom,20-390x |
12:1光學(xué)Zoom,15-540x |
6.5:1光學(xué)Zoom,20-390x |
12:1光學(xué)Zoom,15-540x |
| 影像&光源 |
紅光LED (黑白系統(tǒng))或白光 LED(彩色系統(tǒng)) |
| 軟件 |
InSpec for Windows Metrology Software |
| 工作環(huán)境 |
20℃±2°,30-80% 濕度 |
| 備注 |
Vertex311系列可選擇加高型,Z軸250mm |
|
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